CMP化学机械抛光团队

浙江新创纳电子科技有限公司团队介绍

宋志棠,新创纳公司董事长,中科院特聘研究员,国家超级973、国家集成电路重大专项项目的首席科学家,第四批国家“万人计划”科技创业领军人才,上海市领军人才、国务院特殊津贴、跨世纪千百万人才国家级人选。国内PCRAM材料与器件研究的开创者,研制出我国第一款PCM芯片,其1500万颗嵌入式芯片在国际首次应用,创立相变八面体基元理论,自主ScSbTe、TiSbTe材料与双沟道二极管等用于芯片。带领团队建立起国内第一条自主的电子级二氧化硅纳米磨料生产线,研发出的电子二氧化硅纳米磨料和抛光液实现产业化,每年产出超亿元。在Sciences、Nature comm等期刊发表511篇论文,他引4517次;国内外授权发明专利284项。“电子级二氧化硅纳米抛光新材料及工业化制备关键技术”2016年获上海市技术发明奖一等奖,“相变存储芯片制造核心技术及嵌入式应用”2018年获上海市科学技术发明奖二等奖,相变材料的研究获得2019年度中国材料研究学会科学技术一等奖。

刘卫丽,新创纳公司总经理,中科院二级研究员,“国家万人”创新人才推进计划中青年创新领军人才,曾获上海市技术发明一等奖、中国科协杰出青年成果转化奖、国家科技进步一等奖等奖项和荣誉称号。是新安纳和新创纳两家公司的发起人之一,刘博士是国家“十一五”和“十二五”两项国家重大专项项目负责人和首席科学家,她带领团队建立了具有自主知识产权的电子级二氧化硅纳米磨料中试和生产线;开发了纳米材料生长新工艺,从原理和工艺上解决了纳米材料粒径不稳定的问题;开发了高效蓝宝石抛光液金属抛光液、硅片抛光液、氧化硅抛光液等。先后发表SCI论文一百多篇,被引用1580余次。申请国内外发明专利98项,其中授权71项(2项为美国专利)。

新创纳公司在董事长宋志棠博士和总经理刘卫丽博士的带领下,共有博士8名,高级职称7名,研发人员20多名。既有纳米材料制备领域的材料专家,也有来自于抛光液公司对于磨料的需求和技术发展具有深刻理解的人才,还有在集成电路半导体化学机械平坦化与抛光方面的微电子专家,这几类人才可以保证新创纳产品在CMP化学机械抛光上具有较强的优势。另外公司管理队伍整体素质较高,有着良好的知识结构、年龄结构,富有激情和创新精神。

新创纳公司团队介绍

联系人:李博士

手机: 186-2157-4686

邮箱: viplee@mail.sim.ac.cn

上海地址: 上海市金山区天工路285号20幢

浙江地址: 浙江省海宁市斜桥镇云星路138号

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